下载金属氧化物半导体电容器及其制作方法的技术资料

文档序号:33760266

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本发明公开一种金属氧化物半导体(MOS)电容器及其制作方法,其中该MOS电容器包括一基底,具有电容器形成区域;离子阱,具有第一导电型,设置在基底中;一反掺杂区,具有第二导电型,设置在离子阱中;一电容介电层,设置在离子阱上;一栅电极,设置在电...
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