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本发明属于真空泵技术领域，特别涉及一种真空泵内转子轴组件。包括主动轴、多级主动转子、从动轴及多级从动转子，其中主动轴上设有多级主动转子，多级主动转子中除了一级主动转子以外其余的各级主动转子通过键Ⅰ与主动轴连接；从动轴上设有多级从动转子，多级...
该专利属于中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司授权不得商用。

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