下载晶圆电镀治具和晶圆电镀装置的技术资料

文档序号:33755849

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本实用新型实施例提供的一种晶圆电镀治具和晶圆电镀装置,涉及晶圆电镀技术领域。该晶圆电镀治具包括晶圆存放台、密封圈、导电环和盖板,晶圆存放台用于放置晶圆,密封圈和导电环设于晶圆存放台和盖板之间,盖板与晶圆存放台连接,晶圆存放台上设有第一吸附台...
该专利属于甬矽半导体(宁波)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过甬矽半导体(宁波)有限公司授权不得商用。

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