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本实用新型公开了一种用于PVD离子源靶材的水冷结构，属于离子源冷却系统领域，包括设置中心孔的靶材固定法兰盘、固设于靶材固定法兰盘中心孔内的靶材托盘和可拆卸连接于靶材固定法兰盘下侧的水路板，所述靶材托盘由不锈钢薄板制成，靶材托盘设有冲压槽，靶...
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