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本申请公开了一种等离子喷射装置、喷涂设备及太阳能电池制造设备,等离子喷涂设备包括电离喷射机构、气体输送通道以及介质输送机构。气体输送通道与电离喷射机构连通并用于向电离喷射机构输送气体,电离喷射机构用于电离气体。介质输送机构包括送料通道以及设...该专利属于宁德时代新能源科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过宁德时代新能源科技股份有限公司授权不得商用。
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