下载晶舟盒的技术资料

文档序号:33753559

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本实用新型公开了一种晶舟盒,包括壳体、手柄和保护机构,壳体的前端设有用于晶圆进出的开口,手柄设置在壳体上,保护机构包括前挡件、压触件和联动组件,前挡件在第一位置和第二位置之间可活动地设置在壳体上,在第一位置时前挡件至少部分位于插槽的前方以将...
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