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本实用新型提供了一种工件蚀刻装置，包括第一喷淋箱、工件载台和缓冲导流平台，工件载台用于承载待蚀刻的工件，第一喷淋箱固定连接在底板的一端，包括第一箱本体和第一喷淋部，第一喷淋部设于第一箱本体的一侧外壁上，包括开设有第一溢流口的第一导流台，第一...
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