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均热板及抽真空系统技术方案
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下载均热板及抽真空系统的技术资料
文档序号:33747981
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本实用新型提供一种均热板,包含:第一盖体、第二盖体以及多个抽气通道;第一盖体与第二盖体对应接合,以定义出一腔室;多个抽气通道设置于第一盖体及第二盖体的侧边上;其中,气体由多个抽气通道被抽出,以及,对至少一个抽气通道进行注液,俾使一工作液体填...
该专利属于台达电子工业股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过台达电子工业股份有限公司授权不得商用。
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