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本发明属于麦克风技术领域，公开了一种双振膜MEMS麦克风及其制造方法，包括背板单元、第一振膜、第二振膜和若干连接单元，背板单元绝缘支撑于第一振膜和第二振膜之间，背板单元开设有若干通孔，连接单元穿设于通孔，若干通孔与若干连接单元一一对应设置，...
该专利属于迈感微电子（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过迈感微电子（上海）有限公司授权不得商用。

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