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一种功率MOSFET器件及其制作方法技术
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文档序号:33746136
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本发明涉及一种功率MOSFET器件及其制造方法,所述功率MOSFET器件分为有源区和终端区,在第一导电类型衬底上设有第一导电类型外延层,在第一导电类型外延层上设有第二导电类型外延层,在有源区的第一导电类型外延层和第二导电类型外延层中设有第一...
该专利属于无锡新洁能股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过无锡新洁能股份有限公司授权不得商用。
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