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四线垂直切割硅棒的方法、切割设备及切割系统技术方案
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文档序号:33745217
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本申请实施例提供一种四线垂直切割硅棒的方法、切割设备及切割系统,其中,方法包括:S1,沿着硅棒的长度方向通过四条切割线对硅棒进行一次切割,四条切割线中具有至少两条切割线相互平行,其余的切割线与所有平行的切割线垂直;经至少两条平行的切割线切割...
该专利属于青岛高测科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过青岛高测科技股份有限公司授权不得商用。
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