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光波导耦合器及其制备方法技术
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文档序号:33742938
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本申请涉及一种光波导耦合器及其制备方法。一种光波导耦合器,包括基片、高折射率波导以及低折射率波导。高折射率波导形成于基片上;高折射率波导包括依次连接且沿第一方向延伸的第一导波段和第二导波段;其中,在第一方向上,第二导波段的厚度逐渐减小。低折...
该专利属于南开大学所有,仅供学习研究参考,未经过南开大学授权不得商用。
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