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本发明公开了一种半导体器件基板检测系统及方法。检测系统包括清洁子系统，对半导体器件基板进行清洁处理；加热子系统，对半导体器件基板进行加热处理；热成像检测子系统，包括热成像探测器、控制单元、上位机和储存单元；所述热成像探测器对加热后的半导体器...
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