下载一种垂直有机晶体管的制备方法的技术资料

文档序号:33734686

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本发明提供了一种垂直有机晶体管的制备方法,所述的方法利用表面带有石墨烯的二氧化硅/重掺硅衬底制备垂直有机晶体管,具体步骤如下:使用掩模版与表面带有石墨烯的二氧化硅/重掺硅衬底精确对准,使用蒸镀仪通过掩模版淀积源极金属,旋涂双极性有机物D该专利属于南京邮电大学所有,仅供学习研究参考,未经过南京邮电大学授权不得商用。

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