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本发明公开了一种氯硅烷渣浆的处理方法和装置，处理方法包括：收集冷氢化工艺制备三氯氢硅过程中产生的氯硅烷渣浆；将氯硅烷渣浆进行闪蒸，得到闪蒸渣浆；将闪蒸渣浆进行沉降，得到上清液和沉降渣浆；将沉降渣浆进行干燥分离得到液相组分；将上清液与液相组分...
该专利属于新特能源股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过新特能源股份有限公司授权不得商用。

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