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本发明公开了一种超高深宽比的硅神经电极及其制备方法，本发明的硅神经电极具有特定的探针间连接弧度，特定的厚度，宽度以及长度；其通过结合无接触低应力的探针制备方法制备得到。本发明的超高深宽比的硅神经探针能更好的植入体内采集数据，并实现超高深宽比...
该专利属于复旦大学所有，仅供学习研究参考，未经过复旦大学授权不得商用。

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