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本发明涉及晶圆清洗技术领域，且公开了一种晶圆水平清洗装置，包括底板，所述底板的顶部固定连接有U形框和水箱，所述底板的顶部固定连接有外语U形框内腔的翻转机构，所述U形框内腔的左右两侧均转动连接有与翻转机构啮合的夹紧组件。该晶圆水平清洗装置及清...
该专利属于江苏亚电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏亚电科技有限公司授权不得商用。

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