温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供一种耦合反射和透射光路的原子力显微镜，包括腔体、探针、制冷系统和光学系统，腔体设有真空腔，真空腔用于容纳样品和探针，探针用于对样品表面进行探测；制冷系统用于给样品和探针制冷；光学系统包括一对视窗组件和一对物镜，视窗组件包括中空壳体...
该专利属于清华大学所有，仅供学习研究参考，未经过清华大学授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。