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光电子装置及其制造方法制造方法及图纸
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文档序号:33725637
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一种光电子装置(100)。所述装置(100)包括:绝缘体上硅SOI晶片(120),所述SOI晶片包括空腔(126)和输入波导(116),所述输入波导(116)光学地耦合到所述空腔(126)中;以及镜(110),所述镜位于所述空腔(126)内...
该专利属于洛克利光子有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过洛克利光子有限公司授权不得商用。
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