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本发明涉及将聚焦环分离为多个而组装，由此可以仅更换暴露于等离子体而发生蚀刻消耗的部分的结合型聚焦环，其特征在于，其包括：上部等离子体暴露环，其放置在静电吸盘的上部外侧；下部导热支承环，其紧贴到上述上部等离子体暴露环的下部而被组装；结合环，其...
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