下载抛光制品、抛光系统和抛光方法的技术资料

文档序号:33724730

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本发明公开了一种抛光制品,该抛光制品包括具有工作表面的抛光层,该工作表面包括设置在工作表面上的至少一个多单元结构。多单元结构包括三个单元,被定义为第一单元、第二单元和第三单元。三个单元中的每一个单元包括限定单元形状的至少一个侧壁。第一单元和...
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