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约瑟夫逊结制造方法技术
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文档序号:33723005
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本发明提供了约瑟夫逊结制造方法。本发明涉及约瑟夫逊结的制造。这样的约瑟夫逊结可能适合于在量子比特方面使用。使用毯式沉积形成高质量的可能的单晶电极和介电层;随后通过以下操作来形成多个约瑟夫逊结之一的结构:使用多光子光刻以在抗蚀剂中创建开口,然...
该专利属于IQM芬兰有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过IQM芬兰有限公司授权不得商用。
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