温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明构思提供一种基板支撑单元，包括：卡盘，其支撑并旋转基板；和灯单元，其设置在基板下方以加热基板，其中灯单元包括第一灯，该第一灯在其表面上具有反射层以阻挡和/或反射从第一灯发射但未导向至基板的光以将光导向至基板。至基板。至基板。
...
该专利属于细美事有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过细美事有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。