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用于将微芯片从源基板集体转移到目标基板的工具制造技术
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下载用于将微芯片从源基板集体转移到目标基板的工具的技术资料
文档序号:33722728
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本公开涉及一种用于将微芯片从源基板集体转移到目标基板的工具(100),所述工具包括板(101),该板具有相对的第一面(101a)和第二面(101b),并且在第一面一侧上具有多个微芯片接收区域,板(101)包括与每个接收区域相对的贯穿开口(1...
该专利属于原子能与替代能源委员会所有,仅供学习研究参考,未经过原子能与替代能源委员会授权不得商用。
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