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本申请公开用于处理基板的支撑单元、设备及用于处理基板的方法。本申请提供一种支撑单元，其被包括在利用电浆来处理基板的设备中，所述支撑单元包括：卡盘，被配置用来支撑基板的下表面；移动板，在俯视时，所述移动板围绕所述卡盘；以及升降构件，被配置为通...
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