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文档序号:33721805
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提供显示装置。显示装置的实施方式包括衬底、衬底上的缓冲层、包括布置在缓冲层上并且包括硅半导体的半导体层和与半导体层绝缘的栅电极的薄膜晶体管、以及覆盖半导体层的绝缘层,其中,在半导体层与缓冲层之间的界面处的氟的浓度是在半导体层与绝缘层之间的界...
该专利属于三星显示有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过三星显示有限公司授权不得商用。
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