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本发明涉及太阳能电池技术领域，具体地说是一种适用于制备钙钛矿薄膜的真空闪蒸及退火集成系统，包括真空腔、温控系统和抽真空系统，其中温控系统包括温度传感器、冷却组件和加热组件，真空腔的腔壁内设有中空的夹层，且冷却组件和加热组件均设于所述夹层中，...
该专利属于中国科学院大连化学物理研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院大连化学物理研究所授权不得商用。

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