一种适用于制备钙钛矿薄膜的真空闪蒸及退火集成系统技术方案

本发明专利技术涉及太阳能电池技术领域，具体地说是一种适用于制备钙钛矿薄膜的真空闪蒸及退火集成系统，包括真空腔、温控系统和抽真空系统，其中温控系统包括温度传感器、冷却组件和加热组件，真空腔的腔壁内设有中空的夹层，且冷却组件和加热组件均设于所述夹层中，所述真空腔内的温度通过所述温度传感器实时监测，所述真空腔一侧设有带第一阀门的端管路，所述真空腔内通过所述抽真空系统抽真空，并且所述真空腔上设有第一真空计。本发明专利技术将真空泵组、预真空腔和控温系统同时引入钙钛矿薄膜制备系统，有利于降低对泵组的要求，有利于实现钙钛矿薄膜一体化制备，在降低成本的同时将进一步拓宽闪蒸技术的应用。拓宽闪蒸技术的应用。拓宽闪蒸技术的应用。

【技术实现步骤摘要】
一种适用于制备钙钛矿薄膜的真空闪蒸及退火集成系统


[0001]本专利技术涉及太阳能电池
，具体地说是一种适用于制备钙钛矿薄膜的真空闪蒸及退火集成系统。

技术介绍

[0002]太阳能是取之不尽、用之不竭的能源，既清洁环保，又无需运输，是21世纪最重要的新能源之一。太阳能电池是一种将光能转换为电能的半导体光电器件，在能源转化领域具有重要研究价值。钙钛矿电池是一种新型全固态薄膜太阳能电池，它主要由透明导电基板、电子传输层、有机
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无机复合钙钛矿、空穴传输层和背电极组成。其工作过程如下：首先钙钛矿层吸收太阳光后产生电子(e
‑
)与空穴(h
+
)；e
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扩散到电子传输层界面时被迅速注入其导带中，然后经导电基底导入外电路；h
+
被空穴传输层传输到背电极，最终于外电路中的e
‑
复合，从而形成一个完整的电流循环。由于研究者对钙钛矿电池各个功能层的不断优化，钙钛矿电池发展迅速，其光电转换效率在短短几年内迅速增长到25％以上，已满足产业化基本要求。闪蒸本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种适用于制备钙钛矿薄膜的真空闪蒸及退火集成系统，其特征在于：包括真空腔(301)、温控系统和抽真空系统，其中所述温控系统包括温度传感器(201)、冷却组件(202)和加热组件(203)，所述真空腔(301)的腔壁内设有中空的夹层，且所述冷却组件(202)和加热组件(203)均设于所述夹层中，所述真空腔(301)内的温度通过所述温度传感器(201)实时监测，所述真空腔(301)一侧设有带第一阀门(101)的端管路，所述真空腔(301)内通过所述抽真空系统抽真空，并且所述真空腔(301)上设有第一真空计(401)。2.根据权利要求1所述的适用于制备钙钛矿薄膜的真空闪蒸及退火集成系统，其特征在于：所述抽真空系统包括预真空腔(302)、一级真空泵(502)、二级真空泵(501)和多个管路，其中所述真空腔(301)通过设有第二阀门(102)的第一管路与所述预真空腔(302)相连，在所述预真空腔(302)上设有第二真空计(402)，所述真空腔(301)下侧分别引出第二管路和第三管路与所述预真空腔(302)相连，且所述第二管路上依次设有第三阀门(103)和第四阀门(104)，所述第三管路上依次设有第六阀门(106)和第七阀门(107)，第四管路一端与所述第三阀门(103)和第四阀门(104)之间的第三管路相连，另一端与所述第六阀门(106)和第七阀门(107)之间的第四管路相连，在所述第四管路上依次设有一级真空泵(502)、第五阀门(105)、第三真空计(403)和二级真空泵(501)。3.根据权利要求2所述的适用于制备钙钛矿薄膜的真空闪蒸及退火集成系统，其特征在于：所述真空腔(301)下侧位于所述冷却组件(202)和加热组件(203)之间的中部位置分别引出所述第二管路和所述第三管路。4.根据权利要求2所述的适用于制备钙钛矿薄膜的真空闪蒸及退火集成系统，其特征在于：薄膜制备时，所有阀门关闭，先打开第一阀门(101)，并且真空腔(301)温度通过温控系统调节至设定温度，然后打开第七阀门(107)并开启一级真空泵(502)，当第二真空计(402)显示压力为设定值以下时，关闭第七阀门(107)并打开第五阀门(105)，当第四管路上的第三真空计(403)也显示压力为设定值以下时，...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘生忠，王开，杜敏永，王辉，王立坤，曹越先，孙友名，段连杰，
申请(专利权)人：中国科学院大连化学物理研究所，
类型：发明
国别省市：