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本公开提供了一种半导体结构及半导体结构的制作方法,涉及半导体技术领域。半导体结构包括:衬底、第一介电层、第二介电层和栅极结构,衬底上具有有源区,有源区内设有第一掺杂类型的源极区和第一掺杂类型的漏极区;至少部分第一介电层设在衬底上,并覆盖在部...该专利属于长鑫集电(北京)存储技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过长鑫集电(北京)存储技术有限公司授权不得商用。
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本公开提供了一种半导体结构及半导体结构的制作方法,涉及半导体技术领域。半导体结构包括:衬底、第一介电层、第二介电层和栅极结构,衬底上具有有源区,有源区内设有第一掺杂类型的源极区和第一掺杂类型的漏极区;至少部分第一介电层设在衬底上,并覆盖在部...