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本发明公开了CCD/CMOS极紫外波段量子效率检测方法，包括极紫外辐射光源、真空腔室、样品台、被测CCD或CMOS以及数据采集机构，真空腔室内为真空，样品台位于真空腔室中，被测CCD或CMOS安置在样品台上，被测CCD或CMOS与数据采集机...
该专利属于中国科学院紫金山天文台所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院紫金山天文台授权不得商用。

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