CCD/CMOS极紫外波段量子效率检测装置及方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开了CCD/CMOS极紫外波段量子效率检测方法，包括极紫外辐射光源、真空腔室、样品台、被测CCD或CMOS以及数据采集机构，真空腔室内为真空，样品台位于真空腔室中，被测CCD或CMOS安置在样品台上，被测CCD或CMOS与数据采集机构信号连接，真空腔室内安装有球面光栅单色器，球面光栅单色器有若干个可转动的光栅，极紫外同步辐射光能射入被测CCD或CMOS镜头，不同的光栅通过改变光栅入射角大小，使得球面光栅单色器输出特定波长的入射单色光。本发明专利技术利用同步辐射产生出高纯度的极紫外波段单色光，波长范围为105nm～131nm，包含了极紫外和远紫外的部分波长，在天文上可以进行中性氢及电离氧的分布观测，以研究宇宙的起源和演化。以研究宇宙的起源和演化。以研究宇宙的起源和演化。

【技术实现步骤摘要】
CCD/CMOS极紫外波段量子效率检测装置及方法


[0001]本专利技术属于光学设备
，具体涉及CCD/CMOS极紫外波段量子效率检测装置及方法。

技术介绍

[0002]量子效率(英语：Quantum efficiency，常缩写为QE)是衡量CCD/CMOS图像探测器光电转化效率的重要指标，量子效率越高，探测器的灵敏度越高。在数学上QE可以表达为入射光子和被像素收集到的电子的比例，通常被称为反映其波长依赖性的光谱响应，用百分比表示。作为比率，QE是无量纲的，但它与光的波长范围密切相关。由于光子的能量与波长成反比，因此通常测试CCD或者CMOS图像探测器的QE时，需要在不同波长范围内进行测量，以表征每个光子能级下器件的效率。目前测量CCD/CMOS的方法主要是是通过卤素灯或者氙灯、积分球、标准探测器、光栅单色仪，窄线宽滤光片得到某一波长点的量子效率，再通过测量CCD器件的相对光谱响应计算得到整个响应波段的量子效率，组成的测试系统来进行测量。此方法得到CCD器件量子效率的方法缺点是，在得到某一波长点绝对量子效率时选用窄线宽的滤光片来实现，窄本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.CCD/CMOS极紫外波段量子效率检测装置，其特征是：包括极紫外辐射光源(1)、真空腔室(2)、样品台(3)、被测CCD或CMOS(4)以及数据采集机构(5)，所述的真空腔室(2)内为真空，样品台(3)位于真空腔室(2)中，被测CCD或CMOS(4)安置在样品台(3)上，所述的被测CCD或CMOS(4)与数据采集机构(5)信号连接，所述的极紫外辐射光源(1)能射出极紫外同步辐射光，所述的真空腔室(2)前方安装有球面光栅单色器(6)，所述的球面光栅单色器(6)有若干个可转动的光栅，所述的极紫外同步辐射光能透过预定光栅，经真空腔室(2)的入射口，射入被测CCD或CMOS(4)镜头，不同的光栅通过改变光栅入射角大小，使得球面光栅单色器(6)输出特定波长的入射单色光。2.根据权利要求1所述的CCD/CMOS极紫外波段量子效率检测装置，其特征是：所述的极紫外辐射光源(1)和球面光栅单色器(6)之间设有超环面前置镜(11)和入射狭缝结构(12)，所述的球面光栅单色器(6)与被测CCD或CMOS(4)之间设有超环面后置镜(13)和出射狭缝结构(14)，所述的极紫外辐射光源(1)射出的极紫外同步辐射光经过前端的超环面前置镜(11)聚焦，再经入射狭缝结构(12)到达球面光栅单色器(6)，球面光栅单色器(6)输出波长线性变化的单色光，单色光经出射狭缝结构(14)到达超环面后置镜(13)，最后进入被测CCD或CMOS(4)。3.根据权利要求1所述的CCD/CMOS极紫外波段量子效率检测装置，其特征是：所述的样品台(3)通过抱箍结构(31)夹持被测CCD或CMOS(4)；所述的真空腔室(2)内真空度高于4.0
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10
−4Pa；所述的真空腔室(2)上开设有观察窗口(21)。4.如权利要求1所述的CCD/CMOS极紫外波段量子效率检测方法，其特征是：包括以下步骤：步骤一、在特定波长条件下拍摄不同曝光时间的曝光图像和暗场图像；步骤二、根据不同时间的曝光图像计算系统增益值；步骤三、根据曝光图像和暗场图像计算单位时间内的光感图像ADU值；步骤四、由增益和单位时间内的ADU值计算单位时间内的电子数；步骤五、获得同步辐射的各波长光电流数据；由光电流和标定的转换系数得到各波长的光功率值；由光功率值计算各波长单位之间下的光子数；步骤六、由单位时间内的电子数和光子数计算探测器在各波长下的量子效率。5.根据权利要求4所述的C...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘伟，纪丽，蔡明生，娄铮，
申请(专利权)人：中国科学院紫金山天文台，
类型：发明
国别省市：