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本发明公开了一种N型重掺锗单晶生长磷元素掺杂装置及方法，N型重掺锗单晶生长磷元掺杂装置，包括锗籽晶、锗铣磨片和锗盖板；锗籽晶包括支撑杆和支撑台，支撑杆垂直连接在支撑台顶部中央位置，支撑杆的直径小于支撑台的直径；锗铣磨片为锅形，锗铣磨片开口向...
该专利属于中锗科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中锗科技有限公司授权不得商用。

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