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本申请提供了一种针对大翘曲度样品的吸附系统及吸附方法，该吸附系统包括吸盘以及柔性密封装置；所述柔性密封装置固定于所述吸盘上，用于在将样品放置在所述吸盘上之后与所述样品、所述吸盘构成密封腔；所述吸盘具有至少一个真空孔，所述至少一个真空孔用于在...
该专利属于睿励科学仪器（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过睿励科学仪器（上海）有限公司授权不得商用。

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