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本申请涉及接触浸没式光刻系统及其使用方法。示例的浸没式光刻系统包括光掩模基板和沿着光掩模基板的表面布置的至少一个传感器。浸没式光刻系统还包括具有至少一个处理器和存储器的控制器。至少一个处理器被配置为执行存储在存储器中的程序指令以便执行操作。...
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