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本发明涉及一种激光设备，尤其是用于切割脆性衬底的脉冲扫描激光器。本发明人提出了一种用于在衬底中形成应力边缘以劈裂衬底的方法和装置，为此，通过在用具有固定焦距的聚焦的激光光束在激光光束的成角度的扫描过程期间照射材料期间在材料的主体中的光诱导击...
该专利属于IRE波卢斯公司所有，仅供学习研究参考，未经过IRE波卢斯公司授权不得商用。

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