激光光束加工透明脆性材料的方法和实施这种方法的装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种激光设备，尤其是用于切割脆性衬底的脉冲扫描激光器。本发明专利技术人提出了一种用于在衬底中形成应力边缘以劈裂衬底的方法和装置，为此，通过在用具有固定焦距的聚焦的激光光束在激光光束的成角度的扫描过程期间照射材料期间在材料的主体中的光诱导击穿来形成空腔的轨迹，该聚焦的激光光束沿着衬底的长度纵向移动。本发明专利技术的技术效果是：改进的产品的强度参数，衬底劈裂期间形成的直的和倾斜的边缘的更好的质量，无碎裂和微裂纹，应力的劈裂边缘的高形成率，这意味着更快的激光切割速度。割速度。割速度。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】激光光束加工透明脆性材料的方法和实施这种方法的装置


[0001]本专利技术涉及激光
，尤其涉及一种用于切割脆性衬底的脉冲扫描激光器。

技术介绍

[0002]脉冲激光器广泛地用于半导体工业，用于刻划薄的，至多1mm的，由硅、锗、砷化镓和其它半导体制成的衬底以及陶瓷和玻璃衬底。现有技术描述了形成劈裂(cleave)线的各种方法，范围从在激光刻划期间的V形凹槽到材料在其顶面或底面上烧蚀(ablation)或熔化(US20190169062A1)。然而，在该操作之后，需要对激光处理的材料施加机械力，或者通过加热(或局部冷却)材料来产生热变形波。这些动作中的任何一个都不总是具有有利的结果
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没有碎裂、微裂纹和缺陷的劈裂。
[0003]飞秒和皮秒激光器被用于制备用于劈裂的衬底，包括由玻璃制成的厚衬底。现有技术(US10233112B2)描述了一种使用皮秒激光器对用作智能手机和显示屏幕的薄玻璃衬底进行穿孔的方法，该方法通过对玻璃进行穿孔并且随后用第二激光器
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高功率CO2激光器
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种用于形成用于劈裂由对激光光束透明的材料制成的衬底的应力边缘的方法，为此，通过在用具有固定焦距的聚焦的激光光束在所述激光光束的成角度的扫描过程期间照射材料期间所述材料的局部光诱导击穿来在所述衬底的主体中形成空腔的轨迹，其中，所述聚焦的激光光束沿着所述衬底的长度纵向移动，其中：
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以所述光束沿从所述衬底的一个表面到相对表面的方向的单道次，在所述材料的主体中形成基本上有角度的线性的窄间隔空腔链(每次脉冲至少一个空腔)，并且
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在所述光束的另一道次期间，所述光束和所述衬底的相对的渐进的纵向移动导致下一个窄间隔空腔链的形成，并且渐进的纵向移动和所述光束在相同的平面中的成角度的循环扫描的这个过程的最终结果是内部气泡应力边缘形式的光诱导空腔的基本上连续的轨迹，其中，所述衬底沿着所述轨迹被劈裂而没有碎裂缺陷。2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述光束的另一道次是在所述光束的渐进纵向移动期间所述光束的相反或返回的道次，所述光束的另一道次在固定就位的衬底上以相同的方向连续进行，其中相对于形成所述应力边缘的区域具有提前量。3.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其特征在于，所述应力边缘的轨迹基本上形成在所述衬底的整个主体上，光诱导击穿空腔之间的距离在微米范围内并且由空腔的尺寸及在横向成角度的方向上和纵向方向上的扫描速率确定。4.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其特征在于，在其中形成劈裂边缘的平面相对于所述表面正交或以至少45度的角度倾斜以形成倾斜的劈裂边缘。5.根据前述权利要...

【专利技术属性】
技术研发人员：权利要求书二页说明书四页附图一页，
申请(专利权)人：IRE波卢斯公司，
类型：发明
国别省市：