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一种在等离子体室中对衬底进行等离子体处理的方法，包括以下步骤：a.向等离子体室供应电源信号，以便在等离子体室中形成等离子体；b.监测与等离子体处理相关的至少一个参数；c.确定与所监测的所述至少一个参数相关的特征；d.在等离子体处理期间调整电...
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