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本发明提供搬送装置、成膜方法、电子器件的制造方法以及成膜装置，通过配置磁铁来提高集尘辊的集尘效率及维护的容易度。基板的搬送装置具备搬送被载置的基板的搬送辊和包围搬送辊的罩单元，罩单元包括设置在搬送辊的下方的托盘和设置在托盘的下方的磁铁。的托...
该专利属于佳能特机株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过佳能特机株式会社授权不得商用。

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