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本发明提供一种电容式压力传感器及其制造方法。所述电容式压力传感器，包括基板、硅层、氧化层、第一氮化硅层与第二氮化硅层。氧化层设置于基板与硅层之间。硅层具有多个孔洞。氧化层具有一开口，以使氧化层与硅层构成一空腔。第一氮化硅层填入每个孔洞中，以...
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