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本申请涉及用于易碎微电子部件的物理转移的设备和方法。一种用于从支撑结构拾取单片化的微电子部件的设备，所述设备包含拾取器，所述拾取器具有至少两个真空通道，所述真空通道通往所述拾取器的拾取面的不同部分并与至少一个真空源选择性地连通。所述设备进一...
该专利属于美光科技公司所有，仅供学习研究参考，未经过美光科技公司授权不得商用。

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