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一种氧化铟锌锡溅镀靶材，其是由In、Zn、Sn及O所构成的烧结体。该烧结体是由In2O3结晶相与Zn3In2O6结晶相所构成；其中，以In、Zn及Sn为100at％计，In含量是介于77at％至90at％间，且Zn/In是大于0.05。本发...
该专利属于光洋应用材料科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过光洋应用材料科技股份有限公司授权不得商用。

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