下载等离子体产生装置及等离子体处理方法的技术资料

文档序号:33700460

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等离子体产生装置具备:装置主体,形成有用于使处理气体等离子体化的反应室;至少一个排出通路,与反应室连接;扩散室,与至少一个排出通路连接;及多个喷出通路,与扩散室连接,且喷出在上述反应室中被等离子体化的等离子体气体,在这多个喷出通路中的至少一...
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