下载半导体结构及其形成方法的技术资料

文档序号:33700291

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一种半导体结构及其形成方法,该半导体结构包含半导体基底以及埋置于半导体基底中的栅极结构。栅极结构包含栅极电极层、设置于栅极电极层之上的阻障层、以及设置于阻障层之上的半导体层。此半导体结构还包含位于半导体基底中且暴露出栅极结构的阻障层和半导体...
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