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本申请涉及抛光设备，尤其是涉及一种用于硅片抛光的上料装置，包括：机架，机架位置固定；架台，架台上具有工位，工位用于与抛头配合；驱动组件，驱动组件设置于机架与架台之间，用于驱动架台相对于机架移动，驱动组件包括：丝杠，丝杠固定于机架；第一滑块，...
该专利属于浙江晶盛机电股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过浙江晶盛机电股份有限公司授权不得商用。

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