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本实用新型涉及磁控溅射镀膜机领域，公开了一种全自动带Pas辅助源的磁控溅射镀膜机。包括：腔体，设于腔体内的磁控溅射镀膜装置，磁控溅射镀膜装置包括：设于腔体内的安装座、连接于安装座上的磁极、设于磁极上的溅射靶、设于腔体内且与安装座对应的固定座...
该专利属于杰莱特（苏州）精密仪器有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过杰莱特（苏州）精密仪器有限公司授权不得商用。

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