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本实用新型公开了一种高洁净等级环境下半导体加热台升降及温度保护机构，包括底板，所述底板上垂直贯穿设置有升降机构，所述升降机构上滑动设置有Z轴连接块，所述Z轴连接块顶面设置有隔热机构，所述隔热机构顶部设置有加热台，所述底板上环绕所述升降机构垂...
该专利属于深圳市轴心自控技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市轴心自控技术有限公司授权不得商用。

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