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本实用新型涉及一种晶圆存储装置及具其的自动取放料设备，本实用新型提供晶圆存储装置包括置物架、上料晶圆转存台、晶圆三轴取料模块、晶圆卡塞和下料晶圆散热台；置物架内设置有晶圆暂存工位、晶圆存放工位和晶圆散热工位，晶圆暂存工位安装上料晶圆转存台，...
该专利属于厦门特仪科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过厦门特仪科技有限公司授权不得商用。

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