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本实用新型公开了一种晶圆清洗设备的夹持机构，属于夹持设备技术领域，包括工作台、晶圆夹持装置、底座板、翻转调节装置和升降装置，所述升降装置设有两个，两个所述升降装置对称设置在工作台上，所述翻转调节装置的两端固定连接在两个所述升降装置的一侧上，...
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