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本实用新型公开了一种晶圆清洗设备的消泡储液槽，涉及晶圆清洗技术领域，包括泡沫驱赶装置、泡沫挡板组件、清洗液引流板、泡沫处理装置、清洗液存放室和储液槽体，当清洗液由进液口并通过清洗液引流板向清洗液存放室输送时，会有泡沫产生，此时，泡沫驱赶装置...
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