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本发明涉及一种高精度半导体芯片检测装置与补偿镜头，补偿镜头用以将由半导体芯片发出并经设备透镜折射后的原始图像转换为第一实像，检测镜头将第一实像作为物面成像为第二实像，设备透镜、补偿镜头及检测镜头位于同一光轴上。本发明基于第二实像检测显示设备...
该专利属于苏州高视半导体技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州高视半导体技术有限公司授权不得商用。

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